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瑞士VAT 590系列電動高真空調(diào)節(jié)閥 產(chǎn)品類型：電動驅(qū)動高真空調(diào)節(jié)閥（Proportional Control Valve） 核心功能： 精密壓力調(diào)節(jié)（10?³ ~ 10?? mbar范圍） 動態(tài)流量控制（適用于CVD、PVD、刻蝕等工藝）

瑞士VAT 54系列氣動高真空擋板閥 產(chǎn)品類型：氣動驅(qū)動高真空擋板閥（Pneumatic Gate Valve） 核心功能： 快速隔離真空腔體（開/關時間1秒） 適用于半導體、光伏、科研設備的超高真空（UHV）系統(tǒng)

瑞士VAT真空閥47系列 VAT 47系列產(chǎn)品定位 產(chǎn)品類型：氣動驅(qū)動高真空角閥（Angle Valve） 核心用途： 真空腔體的隔離與通氣控制 適用于半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等超高真空（UHV）場景

瑞士VAT真空部件 334347 產(chǎn)品身份確認 原廠零件號：334347 所屬系列：VAT真空閥門密封組件 適用機型： VAT 59000系列高真空角閥 VAT 47000系列閘板閥

瑞士VAT真空閥 01032-KE01-0002 型號解析（VAT標準命名） 代碼段含義 01032系列：小口徑高真空角閥（經(jīng)濟型） KE01法蘭類型：ISO-KF16（DN16） 0002配置：氣動執(zhí)行器+機械位置指示

瑞士VAT真空閥 01034-KE24-ACT2 型號解析（VAT 2023新版命名規(guī)則） 代碼段含義 01034系列：超高真空角閥（第三代改進型） KE24法蘭配置：ISO-KF40法蘭 + 2個CF35接口 ACT2驅(qū)動方式：雙電控氣動執(zhí)行器（帶智能控制模塊）